電子廠、半導體生產企業靜電該怎樣防護呢?
一、靜電的產生主要在以下幾個方面:
(1)人體的活動,人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等產生的靜電是電子產品制造中主要靜電源之一
(2)化纖或棉制工作服與工作臺面、坐椅摩擦時,可在服裝表面產生6000V以上的靜電電壓,并使人體帶電,此時與器件接觸時,會導致放電,容易損壞器件、
(3)橡膠或塑料鞋底的絕緣電阻高達1013Ω,當與地面摩擦時產生靜電,并使人體帶電。
(4)樹脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放人包裝中運輸時,器件表面與包裝材料摩擦能產生幾百伏的靜電電壓,對敏感器件放電
(6)普通工作臺面,受到摩擦產生靜電。
(7)混凝土、打臘拋光地板、橡膠板等絕緣地面的絕緣電阻高,人體上的靜電荷不易泄漏。
電子產品制造中,不產生靜電是不可能的。產生靜電不是危害所在,其危害所在于靜電積聚以及由此產生的靜電放電。靜電防護的核心是“靜心消除”。
所以在以上幾個地方注意靜電防護。
二、靜電防護的基本原則是:a、抑制靜電荷的積聚;b、迅速、可靠、有效地消除已經產生的靜電荷。具體措施如下:
1.接地:接地就是直接將靜電通過一條線的連接泄放到大地,這是防靜電措施中濟直接濟有效的方法,對于導體通常用接地的方法,如有繩防靜電手腕帶、地板及工作臺面接地等。
接地通過以下方法實施:
1) 人體通過手腕帶接地。
人體通過防靜電鞋(或鞋帶)和防靜電地板接地。
3) 工作臺面接地。
4) 測試儀器,工具夾,烙鐵接地。
5) 防靜電地板,地(臺)墊接地。
6) 防靜電周轉車,箱,架接地。
7) 防靜電椅接地。
2.靜電屏蔽:靜電敏感元件在儲存或運輸過程中會暴露于有靜電的區域中,用靜電屏蔽的方法可削弱外界靜電對電子元件的影響,濟通常的方法是用靜電屏蔽袋和防靜電周轉箱作為保護。另外防靜電衣對人體的衣服具有一定的屏蔽作用。
3.離子中和:絕緣體往往是易產生靜電,對絕緣體靜電的消除,用接地方法是無效的,通常采用的方法是離子中和(部分采用屏蔽),即在工作環境
三、靜電防護材料與靜電防護設施
因此在防靜電材料和防靜電設施中,均是按這三種方式派生出來的產品,可分為防靜電儀表,接地系統類防靜電產品,屏蔽類防靜電包裝,運輸及儲存防靜電材料,中和類靜電消除設備,以及其它防靜電用品。
A.防靜電儀表
1.手腕帶/腳筋帶/防靜電鞋綜合檢測儀用途:檢測手腕帶,腳筋帶,防靜電鞋是否符合要求。
2.測試腳帶及防靜電鞋時,需增加一塊金屬板及儀表連接的導線。
3.除靜電離子風機檢測儀用途:定期對離子風機平衡度和衰減時間進行檢測及校驗以確保離子風機工作在可靠的指標范圍。
4.靜電場測試儀用途:測量靜電場以反映靜電的存在,以電壓形式讀數,用來測試環境的靜電強度。一般受環境影響和靜電瞬間特性,很難真實反映實際情況。
5.靜電屏蔽袋測試儀用途:檢測靜電屏蔽袋的屏蔽效果。
6.表面電阻測量儀用途:測量材料表面電阻,體積電阻。
B.接地類防靜電產品
1.防靜電手腕帶:廣泛用于各種操作工位,手腕帶種類很多,建議一般采用配有1兆歐姆電阻的手腕帶,線長應留有一定余量。
2.防靜電腳筋帶/防靜電鞋:廠房使用防靜電地面后,應配備防靜電鞋,建議車間以穿防靜電鞋為主,可降低灰塵的引入。操作人員再結合配帶防靜電手腕帶效果將會更佳。
3.防靜電臺墊:用于各工作臺表面的鋪設,每個臺墊串上1兆歐電阻后與防靜電地可靠連接。
4. 防靜電地板:
防靜電地板分為:PVC地板、環氧樹脂地板、活動地板、陶瓷地板。
防靜電蠟和防靜電油漆:防靜電蠟可用于各種地板表面增加防靜電功能及使地板更加明亮干凈。
防靜電油漆可用于各種地板表面,也可涂于各種貨架,周轉箱等容器上。
C.屏蔽類防靜電包裝運輸及儲存材料
1.防靜電周轉箱、防靜電元件盒:用于車間單板和部件的周轉,運輸及儲存。
2.防靜電屏蔽袋:用于單板和部件的包裝、運輸和儲存,具有一定的防潮效果。
3.防靜電膠帶:用于各種包裝箱等。
4.防靜電IC條管及IC托盤:用于生產車間IC元器件的儲存、搬運。禁止在使用前,露天存放IC;或拆開包裝運輸。
5.防靜電貨架、手推車及工作臺:防靜電貨架、手推車廣泛用于電子裝配車間的單板、部件的周轉,搬運等。防靜電貨架及工作臺要有防靜電接地,手推車應有金屬鏈與大地接觸。
6.防靜電工作服工作鞋:在具有靜電敏感元器件,具有一定潔凈度要求的加工車間,一般應嚴格要求員工穿戴防靜電工作服工作鞋。
7.防靜電手指套:如操作員工需經常手拿靜電敏感元器件時,要戴防靜電手指套。
D.中和類設備: 離子風機、風槍、風嘴、風簾、離子棒等。
地板及臺墊: 防靜電(PVC、EPOXY、活動、陶瓷)地板、防靜電臺墊
離子消除器: 離子風機、離子風槍、離子風嘴、離子棒、離子風簾、除靜電焊臺等
檢測儀器:手/腳腕帶檢測儀、表面電阻測試儀、靜電場測試儀、屏蔽帶測試儀、靜電電壓測試儀、人體電阻綜合測試儀、接地保護監測器
EDS包裝材料: 屏蔽袋、導電海綿、粉紅色防靜電氣泡袋、網格袋、IC條管
防靜電服裝 :工衣、手套、手指套、鞋子、帽子
防靜電容器: 防靜電元件盒、防靜電拖盤、防靜電周轉箱、防靜電料架
防靜電貯運工具 :防靜電手推車、防靜電貨架
其它防靜電:蠟、油漆、椅子、刷子、干燥劑、鑷子、吸筆、警示標志
四、防靜電的一般工藝規程要求
防靜電操作系統組成件的靜電性能要求
1、操作者必須戴防靜電手腕帶;
2、ESD敏感型器件必須用靜電屏蔽;
3、準備開封、測試靜電敏感器件時必須在防靜電工作臺上進行,有條件的可配用離子風機清~除空氣中的不平等電荷;
4、組裝所用的焊接設備及成形工裝設備都必須接地,焊接工具使用內熱式烙鐵,接地要良好,接地電阻要偏小;
5、產品測試時,在電源接通的情況下,不能隨意插拔器件,必須在關掉電源的情況下插拔;
6、凡ESD敏感型器件不應過早地拿出原封裝,要正確按操作規范,盡量不能觸摸ESD敏感型器件管腿;
7、用波峰焊接時,焊料和傳遞系統必須接地;
8、在ESD敏感型測試儀器生產線上,應嚴格使用靜電電位測試儀,監視靜電電位的變化情況,以便及時采取靜電消除措施;
9、防靜電可靠工作臺:
a、靜電可靠工作臺是防靜電工作區的基本組成部分,它由工作臺、防靜電臺墊、腕帶接頭和接地線等組成;
b、防靜電臺墊上應不少于兩個腕帶接頭,一個供操作人員使用,另一個供技術人員,檢驗人員或其它人員使用;
c、必要時,靜電可靠工作臺上應配備離子風機;
d、靜電可靠工作臺上不允許堆放塑料盒(片)、橡皮、紙板、玻璃等易產生靜電的雜物,圖紙資料等應裝入防靜電文件袋內;
10、防靜電容器在電子設備研制生產過程中,一切貯存、周轉SSD的容器(元器件袋、轉運箱、印制板架、元器件存放盒等)應具備靜電防護性能。不允許使用金屬和普通塑料容器。必要時,存放部件用的周轉箱應接地;
11、靜電消除器消除絕緣材料表面的靜電荷應使用離子風靜電消除器;
12、防靜電工作服:
a、進入防靜電工作區或接觸SSD的人員應穿防靜電工作服,防靜電工作服面料應符合GB12014規定;
b、在相對濕度大于50%的環境中,防靜電工作服允許選用純棉制品;
13、防靜電工作鞋進入防靜電工作區或接觸SSD的人員應穿防靜電工作鞋,防靜電工作鞋應符合GB4385的有關規定。一般情況下允許穿普通鞋,但應同時使用導電鞋束或腳跟帶;
14、防靜電運輸車轉運SSD或含有SSD的整、部件時,應采用有防靜電性能的運輸車;
中用離子風機等,提供一等電位的工作區域。