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技術文章

實時檢測生產進程與環境與防靜電
實時檢測生產進程與環境與防靜電，通過不斷的檢測，可以確認和量化那些真正需要ESD保護的區域(EPA)，將人力和物力集中到那里,同時確認哪些是靜電安~全區域，節省不必要的開支；確保所有進入EPA環境中的人和物品的靜電安~全性；保障ESD設備正常、有效的運作。

生產過程中關注的靜電參數有電場強度、靜電電位、電荷量和電阻率。電荷量是靜電本質的物理量，但現場測量不方便，通常代以測量物體表面的靜電電位，測量時常采用非接觸式靜電電壓表，不與被測物體接觸，因而對被測物體的靜電影響很小。物體的防靜電性能可通過檢測其表面電阻率或體電阻率來鑒定，而電場強度表征了工作環境中靜電積聚的能量，對EPA的確定至關重要。常用的檢測儀器有場強計、手/腳腕帶檢測儀、表面阻抗測試儀、靜電電壓表、電荷量表等，綜合監測設備可對區域中的靜電狀況全~面監測，任一參數超標即自動報警。

檢測是ESD控制的必要手段，應在生產的各個環節中實時進行。操作員每次進入EPA之前需測試手/腳腕帶、防靜電鞋、防靜電工作服的性能；必須有專人負責EPA的檢測與維護，定期檢查各種ESD設備、用具、接地裝置是否滿足防靜電的要求；管理人員應定期檢查各個工位的防靜電情況，發現不符合要求時，要實時整改；檢測結果要整理歸檔并作為質量管理體系認證的一部分加以核查。

靜電防護靜電消除是一項系統工程，必須貫徹整體防護思想，綜合運用均壓、接地、泄流、屏蔽和箝位等技術，構成一個完整的防護體系，才能取得明顯的效果。



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