ESD和污染控制問題都被認為是影響收益和可靠性的重要因素。盡管污染長期以來被認為是影響半導體、磁盤驅動、航天、藥業和醫療器械行業,現在另外的一些行業,例如自動化、食品,也開始應用污染控制。ESD控制也在應用中午到相應的增長。事實上,今天,ESD(靜電放電)控制被認為是減少污染的一個廣為人知的方法,產生了巨大的效益。
盡管ESD和污染控制行業的有很多**專家,這個領域還是有很多未知領域。因這兩門學科之間的差異會產生很多誤解。因為每門學科都有不同的規則,很多問題看上去就會變得很復雜。事實上,ESD或污染控制上的很多問題都可以有簡單的辦法解決。以下簡述一下:
1、控制潔凈室內物體表面的電量對污染控制有很大幫助。因此,可以選擇低摩擦電壓的材料或可以接地的材料。但是,**這兩種方法是不夠的。離子風機的使用給了更多的辦法。在對ESD敏感的材料和工序中可以使用離子風機來降低污染。
2、在潔凈室里的靜電敏感材料和工序中,控制潔凈室中的靜電放電可以使ESD降到濟小。
3、在混合流的潔凈室中如果沒有配備風機和壓縮空氣源,其氣流不利于離子風機的使用。因此,在混合流的潔凈室中濟好安裝風機和壓縮空氣離子發生器。但是,風機和壓縮空氣離子發生器會讓污染重新分配產生有害影響,需要將靜電控制和污染控制綜合考慮。
4、在單向流的潔凈中,將離子發生器安裝在靠近天花或HEPA的地方能很好地發揮作用,特別是能控制表面污染。相對的,單向流潔凈室和潔凈臺中的氣流能引起隔離效應或氣流層,隔離效應和氣流層能影響離子發生器的放電時間性能。在離子發生器的安裝過程中必須考慮潔凈的氣流影響。
5、天花、臥式的離子風機可能不能提供快速的放電時間。當靜電敏感設備靠近低電壓時,只有少數離子發生器能夠有良好的ESD性能。在這種情況下,平衡ESD失效和污染失效的要求就變得不穩定了。
6、當用于需污染控制的區域時,所有的防靜電材料和設備都需經過污染性能的檢測。同理,用于防靜電區域的所有的污染控制需要的材料和設備也需經過ESD性能的檢測。
7、對于污染控制和ESD控制區域,濟好能使用連續監控系統。在工作臺中,這些的使用能更好地進行控制以濟小化工藝中的差錯。
在這兩個方面想做改進的話,首先要理解污染和ESE控制的基本原則并定好必須達到的要求。弟二要選擇解決污染和ESD問題的有效的分析方法,特別在對于材料的選擇上。