不管是半導體廠商、半導體設備供應商，還是潔凈室的建筑商或運營商，都不得不去推敲將要實施的所謂“綠色思想”的含義。這是歐盟為減少半導體行業對環境的**影響所實施的計劃的一部分，自2006年7月1日起開始生效。很快就要影響到潔凈室及其內部的工藝設備的環境變革。
歐盟限制使用有害物質條例(RoHS)規定制造廠商對其生產過程中或產品中含有的鉛、鎘、汞、含溴阻燃劑等有害物質進行回收。電器及其他電子產品廢棄物（WEEE）也將通過制訂收集、處理和循環利用等相關的規定，以避免原來采取的簡單掩埋的處理方式。
James Beasley，制造業研究聯盟SEMATECH (www.sematech.org) 的**環境、健康和可靠計劃經理預測說：“我們濟初的估計，對潔凈室濟大的影響在于建筑材料，如涂料，目前使用的材料中有些可能會被限制，甚至會被禁止使用。”
在RoHS要求下，生產含有危害物質建筑材料的廠商可能要面臨比較困苦的選擇。例如，塑料供應商就必須要找到可以替代溴化物的阻燃劑。不過，就總體上來看，Beasley相信，材料供應商們對新的要求已經做好充分準備。
半導體工廠中使用的工藝設備大部分屬于大型工業設備，不能采取掩埋法一埋了之，這種情況也不適用于WEEE的規范。但這絕不意味著這些工藝設備可以不進行處理。半導體產業協會SEMI ( www.semi.org )的EHS分會的**理事Aimee Bordeaux指出，一件工藝設備有幾千個部件組成，其中很多都有可能含有具有危害性元素——如鉛——而那些部件的供應商則需要做出更多的努力，以期能達到RoHS和WEEE的要求。“如果某些危害性較大的元素，如鉛出現了泄露，那么你必須要再次進行處理。”Bordeaux警告說。

半導體廠商也可以比RoHS規定的時間更早達到目標。舉個例子，AMD (www.amd.com)在今年七月份就宣布他們已經開始提供含