靜電保護工作區EPA的控制(ESD-protected area)--材料和設備的靜電電壓受到控制的工作環境。為保障靜電敏感器件(ESSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設備建立和裝備起來的區域,通常有明顯的防靜電警示標志。進入防靜電工作區域的人員,必須嚴格遵循防靜電作業規范。又名靜電放電控制區域 ECA(ESD controlled area)。
在通常的電子設備生產、組裝和維護現場,各種靜電產生材料和由他們所產生的電場是很普遍的現象,這些靜電產生材料和由其所產生的電場有可能導致靜電敏感器件的損傷。因此,在靜電敏感器件的整個使用過程都要對其進行保護。
在靜電敏感器件的存儲和轉送過程中,具有屏蔽性能的導體容器可以提供必要的保護。但是,對于靜電敏感器件也還存在著屏蔽容器外的操作。在這種情況下,靜電敏感器件非常容易受到損傷,因此,有必要提供一個可靠的工作區域。防靜電工作區(EPA)正是為此目的而設計。為了確保工作臺的防靜電可靠,它必須滿足以下要求:
⑴ 防靜電區域內的所有電子元器件都要視為靜電敏感器件對待。
⑵ 對于任何在保護狀態之外(處于法拉弟籠之外)的靜電敏感器件的操作,都必須在防靜電工作區內進行。
⑶ 在防靜電工作區之間的非防靜電區域傳送的靜電敏感器件必須處于可靠的保護狀態。
⑷ 防靜電工作區的設計應能保證靜電敏感器件不易接觸到儀器設備的金屬接地外殼。
⑸ 防靜電工作區內禁止放置工作不必須的靜電產生材料,如未作防靜電處理的塑料袋、盒子、泡沫、帶子、筆記本、紙片、個人用品等物品,這些材料必須距離靜電敏感器件30厘米以上。
⑹ 所有在工作臺上使用的清潔劑,溶劑,涂覆材料、氣霧劑等輔助材料都必須經過靜電控制負責人的批準。
2 EPA劃分和環境要求
2.1 EPA劃分
防靜電區域的劃分以該區域內是否可能出現靜電敏感物品為準則,只要可能出現靜電敏感物品,則應定義為防靜電區,否則可定義為非防靜電區。防靜電區域的邊界范圍由工藝部門與區域防靜電責任人共同確定。
防靜電工作區(EPA)包括但不限于以下區域: IQC檢驗區域、單板加工及檢驗區域、單板測試及檢驗區域、部件裝配及檢驗區域、整機裝配及調測區域、維修區域、試驗區域、理貨區域、器件和物料分發區域、倉儲區域等。
劃分EPA的同時應該根據該區域中操作的物料的靜電敏感級別和生產時存在靜電放電的風險程度進行EPA等級的劃分,參見弟3.1節的要求。
2.2 EPA的基礎環境要求
在進行EPA環境設計時,為達到靜電防護的要求應遵循以下原則:
⑵ 可靠、迅速、有效的消除已產生的靜電荷。
⑶ 確定靜電防護所應達到的程度。如yi級EPA內靜電電壓絕dui值應小于100V。
因此,EPA必須具有如下的基本環境要求:
⑴ 明確的區域界限和防靜電警示標志。
⑵ 對區域內的所有導體包括人員可靠接地。
⑶ 消除一切不必要的靜電產生源。
⑷ 運用12英寸原則,即ESSD器件必須遠離靜電源至少30厘米處。
同時,需要考慮如下周邊環境的防靜電性能:
墻壁面料應使用抗靜電型墻紙,一般情況下允許使用石膏涂料或石灰涂料墻面,禁止使用普通塑料制品。
天花板材料應選用抗靜電型材料制品,一般情況下允許使用石膏板制品,禁止使用普通塑料制品。
工作區內使用的門簾、窗簾、區域隔離簾等應是防靜電材料制成,表面電阻值應小于1×1011Ω,禁止使用普通塑料和化纖制品。
2.3 EPA的溫濕度要求
防靜電工作區有必要進行溫度和濕度的控制,濕度控制是靜電防護的一項關鍵措施。EPA的溫濕度控制要求:
⑴ 生產制造和維修區域屬于靜電高風險區域,溫度和濕度控制要求:
溫度:20~30℃
相對濕度(RH):45~75%
⑵ 其他防靜電工作區環境的溫濕度應滿足一般要求:
溫度:20~30℃
相對濕度(RH):30~75%
⑶ 產品物料對環境溫濕度有特殊要求時,應根據物料的特性需求和實際條件采取相應的局部環境保證措施。
⑷ EPA內應配備溫度計和濕度計,并在每班次上班之前作一次記錄。當相對濕度超出規定的范圍時,必須通知工藝人員協調動力維護、環衛等部門采取適當的加濕或抽濕措施,如往地面噴灑適量水(符合可靠要求)、使用加濕器或抽濕機等。
3.靜電防護區域等級分類及基本的ESD控制措施
3.1 靜電防護區域等級分類
所有進行靜電敏感物料生產、操作、周轉、存儲的區域都是靜電防護區域,都必須進行靜電電壓的控制,保護物料免受靜電損傷。
靜電敏感器件主要有集成電路(IC)、場效應管(MOS管)、光電器件、厚膜、LCD、板卡及其組件、產品,高靜電敏感器件主要有CMOS、GaAsFET等高頻高速器件。
在靜電防護區域根據物料的靜電敏感等級需要采用不同的控制措施使得靜電放電控制有效而且成本zui低,需要對靜電控制區域進行控制等級的劃分。科泰公司EPA劃分為兩個等級,yi級EPA和二級EPA。EPA等級的劃分依據為存在靜電放電危害的嚴重程度和產品的靜電敏感級別。
yi級EPA為靜電放電嚴格控制區域,生產加工和操作被評估為靜電高風險的區域以及靜電高敏感級別的產品的制造區應劃分為yi級EPA。一般單板加工、單板測試、單板/模塊組裝區域,高頻度、大量使用靜電敏感級別高于Class 1B的器件的產品制造區和使用靜電敏感級別高于Class 1A的器件為產品的極關鍵器件的產品制造區應定義為yi級EPA,如無線產品和傳輸產品制造區。yi級EPA采用全mian嚴格的靜電防護措施。
二級EPA為基本的靜電放電控制區域,涉及靜電敏感物料的各個生產操作區域至少要定義為二級EPA,必須實施zui基本的靜電放電控制措施。
3.2 靜電防護區域基本的ESD控制措施
yi級EPA和二級EPA的劃分應在綜合評估的基礎上進行,他們的控制措施要求按照下表實施:
ESD控制措施
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yi級EPA
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二級EPA
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靜電電壓控制標準
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小于100V
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小于250V
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區域封閉性
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要求
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不要求
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出入口單向控制
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可選
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不要求
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防靜電標識
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要求
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要求
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防靜電地板或地墊
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要求
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要求
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防靜電桌墊
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要求
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要求
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防靜電腕帶
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要求
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要求
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防靜電工作手套、指套
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要求
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要求
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防靜電工作服
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要求
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要求
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防靜電工作鞋
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要求
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要求
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防靜電工作椅
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要求
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要求
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腕帶測試儀和人體電阻測試儀
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要求
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要求
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ESD自動測試記錄儀
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要求
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不要求
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防靜電烙鐵
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要求
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要求
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防靜電吸錫器
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要求
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要求
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靜電產生材料禁止帶入EPA
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要求
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要求
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非防靜電包裝的拆包
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區域外操作
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區域外操作或獨立工位操作
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離子風靜電消除器
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要求
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可選
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接地系統監控儀
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要求
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不要求
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用于產品的常用裝配、調試及輔助工具防靜電
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全部要求
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部分要求
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防靜電周轉工具
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要求
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要求
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防靜電包裝材料
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要求
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要求
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靜電電壓表和表面電阻測試儀
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要求
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可選
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防靜電文件夾
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要求
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可選
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防靜電作業指導書袋
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要求
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可選
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防靜電液
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可選
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可選
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防靜電狀態卡
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要求
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可選
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yi級和二級EPA區域的劃分及其控制措施主要適用于生產制造系統,其它實體如實驗室可以引用但不限于此。