潔凈棚又名潔凈工作棚，無塵潔凈棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.0米左右，覆蓋面積約50m²以下，支柱可加裝活動輪，可為彈性運用。

無塵潔凈棚說明

潔凈度

潔凈區域尺寸（feet）

所用FFU數目

風量（m3/h）

換氣次數

100級

4×4×7

2

2300

FFU滿布形成層流

4×8×7

4

4600

6×8×7

6

6900

6×12×7

9

10350

6×16×7

12

13800

1000級

6×12×7

2

2300

160

6×16×7

2

2300

6×20×7

3

3450

8×8×7

2

2300

8×12×7

2

2300

10000級

6×12×7

1

1150

80

6×16×7

1

1150

6×20 ×7

2

2300

8×12×7

1

1150

8×16×7

2

2300