人體造成的污染
皮膚:人類每4天皮膚碎屑完全脫落一次(完全換膚)
人類釋放10,000個皮膚碎屑/分鐘(平均大小30*60*3μm)
毛發:人類經常連續脫落直徑為50-100μm的毛發睫毛、眉毛、發膠、凝膠體。
唾沫滴液:含有鈉、酶、鹽、鉀、氯化物和食物微粒。
外用衣物:微粒、纖維、硅石、纖維素、各種化學品、**。
化妝品:不應在潔凈室使用可產生大量的微粒,**被化妝品污染的衣服既困難,費用也很高。
人類靜止、坐下或站立:產生1,000,000≥0.3μm的微粒/分鐘。
人類的頭和身體運動時:產生1,000,000≥0.3μm的微粒/分鐘。
人類以0.9英里/小時(0.4m/s)的速度行走:產生5,000,000≥0.3μm的微粒/分鐘。
潔凈室
潔凈室,亦稱為無塵室或清凈室,是指空氣傳播微粒受到控制且具有一個或一個以上清潔區的房間。
空氣潔凈室:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
靜態潔凈室:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒有操作人員。
動態潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
潔凈室等級:世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹和比較。
209E與209D的濟大不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以M字頭表示,如M1,M1.5,M2.5,M3…以此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數字是以每立方公尺≥0.5μm之微塵粒子數字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵離子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則采用公制,即每立方公尺為單位,以0.1μm微塵粒子為計數標準。日本標準之表示方法以表示,濟好的等級為,濟差的為,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
潔凈室控管之項目:
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子
2. 能防止微塵粒子之產生
3. 溫度和適度之控制
4. 壓力之調節
5. 有害氣體之排除
6. 結構物與隔間之氣密性
7. 靜電之防制
8. 電磁干擾預防
9. 可靠因素之考慮
10. 節能之考量
潔凈室之分類
潔凈室之構成
1. 天花板系統:包括吊桿、綱梁、天花板格子梁
2. 空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等
3. 隔墻板:包括窗戶、門
4. 地板:包括高架地板或防靜電地板
5. 照明器具:包括日光燈、黃色燈管等
6. 潔凈室之建筑主體構造,一般是鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A、不會因溫度變化與振動而發生裂痕
B、不易產生微塵粒子,且很難附著粒子
C、吸濕性小
D、 為了維持室內之濕度條件,拒絕緣性要高