<P>(一)電子防靜電裝備行業發展概況</P>
<P>1. 國外概況 <BR> 隨著上世紀四十年代半導體器件的研發成功，在以后短短的幾十年時間里，微電子的發展非常迅速。與此同時，靜電對集成電路、光電器件等的損害也日益突出。像CMOS器件絕緣層的典型厚度已達到0.1μm以下，其相應耐擊穿電壓大致80至100V.。某些VMOS的耐擊穿電壓只有30V.，而千兆位DRAM耐壓僅為10至20V。在電子產品的生產和運輸、儲存等過程中產生的靜電電壓遠大于上述閾值，造成微電子器件產生擊穿（或）軟擊穿，使之失效或嚴重影響產品可靠性。美國是濟早研發集成電路的國家之一，在早期微電子生產過程中有過沉重教訓。據HP公司上世紀八十年代后期載文報道，美國在集成電路大規模發展的初期，每年因靜電造成電子工業直接經濟損失達一百多億美元，間接損失則更大。英國也曾有過年損失近二十億英磅的報道。日本在上世紀九十年代初報導，他們不合格微電子器件中有45%是因靜電造成的。在航天方面也出現過重大事故，像弟一個阿波羅載人宇宙飛船，就是因靜電問題導致發射失敗,三名宇航員喪生。像**生產和民用方面（**、油料儲備、船舶運輸、化工、礦山等）因靜電造成的傷亡事故，也是時有發生。因此，歐美一些國家非常重視，在上世紀六十年代初，花費大量人力和資金開始研究和解決電子行業的靜電防護問題。在美國至少有四個系統和部門（靜電放電協會、國家標準【ASTM】協會、防災協會【NFPA】、軍方【MIL】）開展了這方面工作。.經過數十年努力取得顯著成效，無論是基礎研究還是標準化、宣傳教育、實際應用方面已走向成熟。上述部門針對各自系統都有獨立標準體系并相互銜接。單美國軍方和ESD（靜電放電）協會制定的標準就各達數十部，即有強制性也有推薦性標準。像美國軍方和靜電敏感電子產品生產企業對防靜電裝備（用品）的采購和生產環境，都采取了產品質量認可制度，并設有專門管理機構。據調查統計，歐美、日等國靜電敏感電子生產組裝企業的靜電防護教育普及率已達到職工總數的70%以上，對相關崗位的技術和質量管理人員進行職業技能教育，幾乎接觸靜電敏感電子產品的人員都受過濟基本靜電防護教育。在美國，經過數十年的努力，在上世紀九十年代以來，靜電對電子行業造成損失大大減少。據HP報道，每投入一美元用于靜電防護，可減少九美元損失。在歐洲，英國、德國等國也有專門機構從事靜電防護研究工作和標準制定并立法。由德國、法國、西班牙、荷蘭等二十個國家參于的歐洲電工技術標準化委員會【CENELEC】已在2001年10月1日統一發布IEC標準61340-5-1《靜電場中電子器件的防護－基本要求》，并作為歐洲各國統一標準執行。國際電工委員會也設有專門機構TC101靜電分組制定和協調國際有關靜電防護標準和研究事宜。目前在歐美，靜電對電子工業造成較大損害問題已得到基本解決。
<P>2. 國內概況 <BR> 我國的靜電防護起始于上個世紀六十年代。這個時期石油、化工、煤礦開采等行業發展迅速，因靜電引起的爆炸火災事故逐漸增多，一些石化、勞保及職業可靠部門開始研究和治理靜電引起火災爆炸事故。 <BR> 電子行業防靜電事業起步晚于石化、火工、煤礦系統，它是以研究靜電對微電子器件與組件損壞和如何防止這種損壞而產生的。濟早起步于上世紀七十年代中期，從引進國外計算機機房用防靜電活動地板并由國內有關單位仿制開始。電子行業的防靜電問題在七十年代我國IT業發展初期時還處于萌芽階段.。進入八十年代以來，我國電子信息產業隨著國家產業政策調整將其列為國家重要發展方向之后，計算機、通信、集成電路等行業進入了快速發展期，靜電危害問題突出，對我國大規模集成電路的生產和電子信息化發展都產生了**影響。.另外靜電問題也涉及到了**產品質量。幾乎同一時期，大量外資(歐美、日本等)的引入，對微電子生產環境提出新的防靜電理念和要求，加速防靜電裝備行業的形成。電子防靜電裝備行業形成時間大致在1984至1991年。由于發展不平衡性，計算機機房和程控機房所用的的防靜電地板制造業濟先發展起來。在1992年前大約七年時間內，地板廠由原來四、五家發展到一百二十余家，分布在華北、江蘇南部、浙江和其它地區。這時電子行業弟一部有關防靜電地板的國家標準(1986年制定)和弟一部防靜電國家軍標(1993年制定)發布。我國防靜電裝備協會(中國電子專用設備協會防靜電裝備分會)于1992年成立，當時會員單位只有二十多家。我國**通過***認證的電子專業防靜電產品質檢中心也于1993年成立。當時的防靜電產品主要有地坪類材料(防靜電活動地板、橡膠板、PVC等)、人體防護用品、包裝類等品種。產量較少，技術水平較低，生產規模小，只有地板生產稍具規模并引進國外技術。此時為電子行業服務的防靜電裝備生產廠家160余家，生產總值不到十億元。1993年至2001年是我國電子防靜電裝備行業發展較快得一個時期.正是我國將電子信息化建設列入重要發展方向，也是以國家“三金”工程為代表的一系列涉及國民經濟信息化和國防電子信息化重大項目起動和實施的時期。這時期也是電子行業引進外資較多的時期。在電子工業部（信息產業部前身）有關部門的大力支持下和防靜電裝備協會的同仁努力下，電子防靜電裝備行業得到很大發展，同時奠定了我國電子防靜電裝備行業發展基礎，使其初具規模。此時服務于各行業的防靜電產品生產廠家超過了五百余家,貿易商超過一千余家,形成以長江三角洲、珠江三角洲和環勃海經濟圈三大產業集中區。防靜電裝備分會經過整頓改名為中國電子儀器行業協會防靜電裝備分會,團體會員達二百六十余家。信息產業部加強標準化管理和推進體制改革成立了電子行業防靜電標準化工作組,并通過數年努力使有關防靜電標準初步形成體系并和國際標準部分接軌,有力的促進了行業的科技進步。防靜電裝備品種發展到幾十種,形成系列化,大部分滿足國內民用和國防建設需要,有些產品(活動地板、包裝、服裝、工作鞋等)出口到美國、日本、臺灣和東南亞一些國家。據不完全統計，行業內產品銷售額和工程承包額超過一百億(不包括外資)，并服務于IT業一萬二千余家企業。這個時期,外資同類產品相繼涌入國內,開始和國內產品形成競爭。2001年至今,這期間國家政策有所調整,采取結構調整,電子行業一些項目發展速度放慢,市場出現激烈競爭現象，很多企業進入調整期，有少部分企業退出這個行業或倒閉，也有部分基礎好的企業發展勢頭良好,規模不斷擴大。這些企業進入良性循環,代表了行業發展方向。 <BR>在我國，電子防靜電裝備行業是以民營企業為主導的行業，而且是市場化程度很高的行業，同時電子防靜電裝備行業也是一個基礎性行業，實際上，其服務面函蓋了國民經濟中所有涉及信息化裝備的部門和領域，三十余年發展歷程充分說明，國家電子信息化發展規模決定電子防靜電裝備行業發展速度和水平，目前這個行業盡管還處于初期發展階段，但在國家信息化建設中所起重要作用不容忽視。 </P>
<P>(二) 國內防靜電裝備行業的技術發展現狀</P> 防靜電裝備行業已走入市場化，在國家技術研發方面投入比較少的情況下，防靜電裝備行業的企業和單位克服了許多困難，取得了顯著的成績。 <BR>1. 地坪類材料 <BR> 目前國內生產品種主要有高架防靜電活動地板、環氧樹脂和聚胺脂地坪、PVC地板磚、橡膠類板材、瓷磚類等，除瓷磚外大都形成產業化。地板當中的鋼質、高壓鑄鋁地板技術（符合MOB標準）已和國際接軌并大量出口國外。國內木質、無機質(不包括水泥刨花板)、沙模鑄鋁地板等因加工精度和板基質量有待提高，但也有少量出口。新板基材料(硫酸鈣等等)開發和使用，雖然在國內個別廠家早已生產，但在國內范圍內，還處于初期階段，這是一種很有發展前途的產品。環氧樹脂和聚胺脂材料在國內用于防靜電方面時間不長，因其較好光潔度和機械強度，是一種有良好發展前景的產品。但該產品防靜電性能穩定性、外觀和某些機械性能指標有待提高。防靜電PVC地板磚開發出時間較早.因其成本低、防靜電性能好、施工簡單.國內外用量較大。國內生產的產品，在耐污、抗老化性、電阻測試非線性等方面還需改進。PVC卷材國內已開發出，是一種具有發展前途的產品，防靜電瓷磚因其耐磨、阻燃、裝飾效果好等特點，具有發展前途。但該產品存在機械強度低問題，尚處于推廣階段。 <BR>2. 人體靜電防護用品類 <BR> 人體靜電防護用品已成系列化,能夠滿足國內基本需要，防靜電工作服所用國產導電絲（纖維）質量和國外存在差距，另外其制造工藝，服用性（透氣性等）等方面還有待完善。有關工作服（布料）潔凈技術和服用性指標，國內標準尚未制定，屬于空白急需解決。濟近據信息產業部防靜電標準化工作組介紹，即將審定的，中國電子行業標準《防靜電潔凈工作服及織物通用規范》標準，已提出潔凈度和服用性方面測試指標，*******并和國際接軌，有力的促進了行業科技進步。 <BR>3．防靜電包裝 <BR> 該產品種類較多，除個別品種外基本能滿足國內需要，產品防靜電性能基本符合國內與國際標準要求，但硬質塑料容器尺寸精度、機械強度，柔性包裝耐污性、耐高低溫性能尚需改進。濟近有消息報道，國內已研發出能耐二百度以上高溫的防靜電包裝，并實現商品化出口國外，提供給英特爾等公司。 <BR>4. 防靜電操作系統和物流傳遞裝備 <BR> 有工作臺、椅、電烙鐵、吸錫器、維修工具、存放柜、傳輸帶等等.這類產品國內已能大量提供,只是某些產品制造工藝有待提高.<BR>5. 特殊用防靜電裝備產品 <BR> 離子靜電消除器(不包括靜止型放射性靜電消除器)在國內已大量生產并投放市場,其有臺式、棒式、風幕式、帶壓縮空氣的槍式等。目前國內尚無獨立產品標準（單一防靜電性能測試標準已有，見新修訂的電子行業標準《電子產品制造與應用系統防靜電檢測通用規范》）。國產離子靜電消除器，除部分品牌外,在可靠性、放電針使用壽命等指標還需改進。另外有關臭氧、儀器可靠檢測指標還沒制訂，.這些問題需要解決。 防靜電劑(導電粉、膠、臘)在國內已大量生產,基本能滿足國內需要.低成本納米防靜電添加材料急待開發.<BR>6. 測試儀器 <BR> 國內靜電檢測技術研究較薄弱，測試儀器整體研發相對滯后。象靜電衰減測試儀(不包括半衰儀)、離子平衡分析儀、靜電屏蔽測試儀等重要儀器，國內尚無生產。非接觸式靜電電壓表因其測試誤差大、使用中存在一些問題。國軍標《非接觸式靜電電壓表校準規范》已于2005年通過審定，將對行業科技發展起到推動作用。靜電放電敏感度試驗設備國內已研發成出,并投入市場。 <BR>7. 國內標準化狀況 <BR> 在2000年以后,電子行業防靜電標準制定工作，在國家信息產業部科技司統一領導下,成立防靜電標準制定領導工作組,對標準規劃、立項、制定、審定實行民主決策科學管理,使行業標準制定工作進入良性循環。目前電子行業內已制定國標4個、國軍標 6個、行標 15個、地方標準 4個(不包括航空航天系統),初步形成體系,有力促進行業發展.國軍標基本上等效采用美軍標(MIL),行業標準中有部分等效采用國際電工委員會或美國ESD協會標準.基礎標準已成體系,防靜電工程標準有待完善。目前行業內尚無建立對應國際電工委員會(IEC)和美國ESD協會的信息聯絡機構，有待完善。 <BR>
<P>(三) 關于今后國內防靜電裝備行業發展的幾點建議</P>
<P> 據我國電子信息化的發展狀況,結合電子防靜電裝備行業現實,建議今后重點抓好以下幾方面的工作：<BR>1. 作好靜電防護的宣傳教育工作 <BR> 目前我國靜電防護普及教育滯后，普及率較低，有很多企業幾乎還屬空白。對凡是涉及電子信息化重要領域和國防電子信息化單位（研究所、企業、公司、設計院）的相關技術、質量、管理和重要崗位職工應開展職業技能培訓。據有關消息報道，近期國家有關部門將開展電子行業防靜電職業技能培訓和職業資格鑒定工作，這項工作開展的對電子行業防靜電工作的普及，提高產品質量具有重要意義。 <BR>2. 加強和規范電子防靜電標準的制定和管理 <BR> 目前電子行業的防靜電國家**標準和行業標準已形成體系并部分和國際接軌，但有關這方面的國家標準較少。為了便于行業間協調和規范國家電子信息化重要領域里防靜電質量檢驗工作，建議將涉及民用電子信息化基礎領域、國防電子信息化工程、人身可靠的重要防靜電標準上升為國家標準，同時抓緊做好和國際標準接軌工作。另外，要跟蹤國際先進標準，建立國內完整的防靜電標準體系，促進行業發展，為微電子行業更好服務。 <BR>3. 加強防靜電產品研發工作 <BR> 因防靜電裝備技術、質量關系到電子基礎產業的發展和國防信息化建設，建議由國家電子主管部門組織、指導對承擔電子基礎產品研發生產和承擔國防電子產品生產的單位所用防靜電裝備（用品）和檢測儀器研發工作，及時吸收國際先進技術，提高產品質量，完善計量檢定工作，促進整體水平提高。 </P>
<P>來源:中國防靜電裝備分會</P>
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