有了適合設(shè)備和人員的電離設(shè)備和傳統(tǒng)接地工具,制造商還必需仔細(xì)考慮在潔凈室內(nèi)使用的材料和它們與ESD的關(guān)系。
材料上出現(xiàn)靜電荷是由于材料滑動(dòng)、摩擦或者把材料分開(kāi)的結(jié)果,這是產(chǎn)生靜電電壓的根本原因。塑料、玻璃纖維、橡膠和紡織品都能夠吸收這些電荷。一旦在絕緣材料上產(chǎn)生靜電荷,電子無(wú)法流動(dòng)或者穿過(guò)它絕緣材料本身,那么越來(lái)越多的電荷就會(huì)積存在所接觸的局部區(qū)域上。這種在絕緣體上產(chǎn)生的靜電荷能夠感應(yīng)鄰近的導(dǎo)體,例如,人或者微型電路,然后,一旦導(dǎo)體與人體以完全不同的電壓接觸,它們會(huì)通過(guò)電弧或者火花放電。
RMV技術(shù)集團(tuán)公司總裁BobVermillion說(shuō):“磁盤驅(qū)動(dòng)器制造商通過(guò)**聚合物,想方設(shè)法降低出現(xiàn)ESD事件的可能性,這些聚合物可以用靜電逸散加熱成型的元件或者CNC陶瓷/ICP元件來(lái)取代金屬載體。這些聚合物通過(guò)提供表面電阻、體積電阻或兩點(diǎn)電阻的讀數(shù)來(lái)減少快速放電。”
潔凈室用戶和工藝設(shè)備制造商正在試驗(yàn)更多的抗ES材料,以滿足客戶的需要。像隔離包、箔片和金屬這樣的導(dǎo)電材料越來(lái)越受歡迎,這是因?yàn)樗鼈兊碾娮璺浅5停话愣疾坏?×105歐姆/平方厘米(表面電阻率)和1×104歐姆-厘(體積電阻率),而且,電子還可以在表面或者在整個(gè)物體內(nèi)自由移動(dòng)。當(dāng)導(dǎo)電材料開(kāi)始充電,電荷(也就是電子不足或者過(guò)多)均勻地分布在材料的整個(gè)表面。一旦帶電的導(dǎo)體材料與其他導(dǎo)體材料接觸,電子就在這兩個(gè)材料之間自由交換。如果弟二個(gè)導(dǎo)體接地,電子就會(huì)流向地,而導(dǎo)體上多余的電荷就會(huì)變少。導(dǎo)電材料一般整個(gè)都布滿了碳化微粒或者碳化纖維。
對(duì)防靜電材料來(lái)說(shuō),它們和所有材料一樣,電荷可能是由摩擦產(chǎn)生的。然而,防靜電材料和導(dǎo)電材料一樣,允許與大地或者其他導(dǎo)體材料交換電荷。防靜電材料交換電荷所需要的時(shí)間要大于與體積相當(dāng)?shù)膶?dǎo)體材料。放慢電荷的交換速度是防止ESD破壞的一種方法。與防靜電材料交換電荷比與絕緣體交換電荷要快得多,但是比導(dǎo)體慢。
有許多種抗靜電或者防靜電材料,但是,不是所有的材料都能夠在潔凈室中使用,以降低ESD風(fēng)險(xiǎn),這是因?yàn)闈崈羰依锟赡艽嬖谖廴締?wèn)題。舉個(gè)例子,塑料的表面涂有季銨鹽、變性聚酰胺或者辛酸鹽,從而具有非長(zhǎng)久性ESD屬性,這種方法不能在潔凈室中使用。適合潔凈室使用的ESD控制材料必須經(jīng)過(guò)針對(duì)微粒產(chǎn)生、排氣作用和化學(xué)殘?jiān)膶?shí)驗(yàn),所有在潔凈室中使用的材料都需要做這些實(shí)驗(yàn)。