很多潔凈室用戶不允許出現(xiàn)靜電。磁盤驅(qū)動(dòng)器制造商正在努力把潔凈室內(nèi)與靜電有關(guān)的問(wèn)題降到零，半導(dǎo)體制造商、平板顯示器制造商、醫(yī)療電子產(chǎn)品制造商和制藥廠商都緊隨其后。本節(jié)將介紹靜電放電系列知識(shí)之二——局部電離的平衡。
對(duì)許多潔凈室來(lái)說(shuō)，通用室內(nèi)離子發(fā)生器只是完整的電離系統(tǒng)的一部分。Heymann說(shuō)：“潔凈室運(yùn)營(yíng)商過(guò)去常常會(huì)說(shuō)如果有一臺(tái)離子發(fā)生器的話，一切與ESD有關(guān)的問(wèn)題都迎刃而解了，但是事實(shí)恰恰相反。與ESD技術(shù)有關(guān)的問(wèn)題是只是簡(jiǎn)單地安裝上離子發(fā)生器，并不能保證它能夠持續(xù)工作**、一星期，甚至一個(gè)月。”
現(xiàn)在，靈敏度閥值更低，這迫使?jié)崈羰疫\(yùn)營(yíng)商加入通用室內(nèi)電離系統(tǒng)，這些系統(tǒng)能夠把空氣的電壓從1,000伏降到100伏。在工藝設(shè)備內(nèi)部和周圍關(guān)鍵區(qū)域加入額外的離子發(fā)生器，能夠把空氣的電壓降至10伏以下。工作站離子發(fā)生器，包括條型離子發(fā)生器、吹風(fēng)機(jī)和壓縮氣體釋放設(shè)備就是適合在這些規(guī)定的工作區(qū)域中使用。無(wú)論離子發(fā)生器是安裝在操作面的上方，還是直接安裝在操作面上，這個(gè)把它與對(duì)靜電放電非常敏感的產(chǎn)品分開的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于與室內(nèi)系統(tǒng)的距離，一般不到1米。
對(duì)要求非常嚴(yán)格的環(huán)境來(lái)說(shuō)，電離吹風(fēng)機(jī)可用來(lái)取代脈沖式直流系統(tǒng)，但是，這種系統(tǒng)的電壓來(lái)回?cái)[動(dòng)，不能調(diào)整到零伏。可是問(wèn)題在于，盡管吹風(fēng)機(jī)可以消除靜電，但是，它會(huì)干擾潔凈環(huán)境內(nèi)的其他的元件。Steinman說(shuō)：“吹風(fēng)機(jī)會(huì)產(chǎn)生空氣紊流，還會(huì)成為污染源。我們需要在污染控制和ESD控制之間協(xié)調(diào)，保證達(dá)到要求的水平。”
為了避免吹風(fēng)機(jī)的不利作用，IonSystems公司采用了單晶硅材料生產(chǎn)的發(fā)射器點(diǎn)，按照Steinman的說(shuō)法，它幾乎可以達(dá)到“ISO1類標(biāo)準(zhǔn)”。
