電子制造業中防護靜電總結

    在電子制造生產過程中，靜電放電時常會損傷到電子元器件，甚至使電子元器件失去功能，造成防范失誤帶來的損失，因此電子制造業中的靜電防護非常之重要，主要還是得了解、分析電子產品制造業中靜電產生源和靜電防護原理，歸納好生產中的一些靜電防護技術基礎與相應的措施。

靜電是一種看不見，摸不著的電能，它存留于物體表面，是正負電荷在局部范圍失去平衡的結果，是通過電子或離子的轉換而形成的，靜電現象是電荷在產生和消失過程中產生的電現象總稱。例如：摩擦起電、人體行走起電等現象。

   在電子產品制造中以及運輸、存儲等過程中所產生的靜電電壓遠遠超過MOS器件的擊穿電壓，往往會使器件產生硬擊穿（元器件局部損傷）現象，使其失效或嚴重影響產品的可靠性。

   為了控制和消除ESD，一些發達國家均制定了國家、**、企業標準或規定。從靜電敏感元器件的設計、制造、購買、入庫、檢驗、倉儲、裝配、調試、半成品與成品的包裝、運輸等均有相應的規定，對靜電防護器材的制造使用和管理也在有非常嚴格的規章制度要求，

  對靜電反應敏感的器件稱為靜電敏感元器件(SSD)。靜電敏感元器件主要是指超大規模集成電路，特別是金屬化膜半導體（MOS電路）。針對不同的SSD器件，采取不同的靜電防護措施。

 電子產品制造中的靜電源：

(1)人體的活動，人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等產生的靜電是電子產品制造中主要靜電源之一。人體靜電是導致器件產生硬(軟)擊穿的主要原因。人體活動產生的靜電電壓約0．5-2KV。另外空氣濕度對靜電電壓影響很大，若在干燥環境中還要上升1個數量級。表2為相對濕度對與人體活動帶電的關系。

人體帶電后觸摸到地線，會產生放電現象，人體就會產生不同程度的電擊感反應，其反應的程度稱為電擊感度。表3為不同靜電壓放電過程中人體的電擊感度。

(2)化纖或棉制工作服與工作臺面、坐椅摩擦時，可在服裝表面產生6000V以上的靜電電壓，并使人體帶電，此時與器件接觸時，會導致放電，容易損壞器件。

(3)橡膠或塑料鞋底的絕緣電阻高達10¹³Ω，當與地面摩擦時產生靜電，并使人體帶電。

(4)樹脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放人包裝中運輸時，器件表面與包裝材料摩擦能產生幾百伏的靜電電壓，對敏感器件放電。

(5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚內乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、樹脂等高分子材料制作的各種包裝、料盒、周轉箱、PCB架等都可能因摩擦、沖擊產生1-3．5KV靜電電壓，對敏感藉件放電。

(6)普通工作臺面，受到摩擦產生靜電。

(7)混凝土、打臘拋光地板、橡膠板等絕緣地面的絕緣電阻高，人體上的靜電荷不易泄漏。

(8)電子生產設備和工具方面：例如電烙鐵、波峰焊機、再流焊爐、貼裝機、調試和檢測等設備內的高壓變壓器、交／盲流電路都會在設備卜感應出靜電。如果設備靜電泄放措施不好，都會引起敏感器件在制造過程中失效。烘箱內熱空氣循環流動與箱體摩擦、CO2低溫箱冷卻箱內的CO2蒸汽均會可產生大量的靜電荷。

電子產品制造中，不產生靜電是不可能的。產生靜電不是危害所在，其危害所在于靜電積聚以及由此產生的靜電放電。靜電防護的核心是“靜心消除”。

靜電防護原理：

(1)對可能產生靜電的地方要防止靜電積聚。采取措施在可靠范圍內。

(2)對已經存在的靜電積聚迅速消除掉，即時釋放。

靜電防護方法：

(1)使用防靜電材料：金屬是導體，因導體的漏放電流大，會損壞器件。另外由于絕緣材料容易產生摩擦起電，因此不能采用金屬和絕緣材料作防靜電材料。而是采用表面電阻l×10⁵Ω·cm以下的所謂靜電導體，以及表面電阻1×10⁵-1×10⁸Ω·cm的靜電亞導體作為防靜電材料。例如常用的靜電防護材料是在橡膠中混入導電碳黑來實現的，將表面電阻控制在1×106Ω·cm以下。

(2)泄漏與接地：對可能產生或已經產生靜電的部位進行接地，提供靜電釋放通道。采用埋大地線的方法建立“獨立”地線。使地線與大地之間的電阻＜10Ω。(參見GBJl79或SJ／T10694—1996)

靜電防護材料接地方法：將靜電防護材料(如于作臺面墊、地墊、防靜電腕帶等)通過1MΩ的電阻接到通向獨立大地線的導體上(參見SJ／T10630-1995)。串接1MΩ電阻是為了確保對地泄放＜5mA的電流，稱為軟接地。設備外殼和靜電屏蔽罩通常是直接接地，稱為硬接地。

(3)導體帶靜電的消除：導體上的靜電可以用接地的方法使靜電泄漏到大地。放電體卜的電壓與釋放時間可用下式表示：UT=U0L1/RC。式中 UT-T時刻的電壓(V) U0一起始電壓(V) R-等效電阻(Ω) C-導體等效電容(pf)。

一般要求在1秒內將靜電泄漏。即1秒內將電壓降至1OOV以下的可靠區。這樣可以防止泄漏速度過快、泄漏電流過大對SSD造成損壞。若U0=500V，C=200pf，想在1秒內使UT達到100V，則要求R=1．28×10⁹Ω。因此靜電防護系統中通常用1MΩ的限流電阻，將泄放電流限制在5mA以下。這是為操作可靠設計的。如果操作人員在靜電防護系統中，不小心觸及到220V工業電壓，也不會帶來危險。

(4)非導體帶靜電的消除：對于絕緣體上的靜電，由于電荷不能在絕緣體上流動，因此不能用接地的方法消除靜電。可采用以下措施：

(a)使用離子風機—離子風機產生正、負離子，可以中和靜電源的靜電。可設置在空間和貼裝機貼片頭附近。

(b)使用靜電消除劑—靜電消除劑屬于表面活性劑。可用靜電消除劑檫洗儀器和物體表面，能迅速消除物體表面的靜電。

(c)控制環境濕度—增加濕度可提高非導體材料的表面電導率，使物體表面不易積聚靜電。例如北方干燥環境可采取加濕通風的措施。

(d)采用靜電屏蔽—對易產生靜電的設備可采用屏蔽罩(籠)，并將屏蔽罩（籠）有效接地。

(5)工藝控制法：為了在電子產品制造中盡量少的產生靜電，控制靜電荷積聚，對已經存在的靜電積聚迅速消除掉，即時釋放，應從廠房設計、設備安裝、操作、管理制度等方面采取有效措施。

靜電防護器材：

(1)人體防靜電系統包括防靜電腕帶、工作服、帽、手套、鞋、襪等

(2)防靜電地面包括防靜電水磨石地面、防靜電橡膠地面、PVC防靜電塑料地板、防靜電地毯、防靜電活動地板等。

(3)防靜電操作系列：包括防靜電：I：作臺墊、防靜電包裝袋、防靜電物流小車、防靜電烙鐵及工具等。

靜電測量儀器：

(1)靜電場測試儀：用于測量臺面、地面等表面電阻值。平面結構場合和非平面場合要選擇不同規格的測量儀。

(2)腕帶測試儀：測量腕帶是否有效。

(3)人體靜電測試儀：用于測量人體攜帶的靜電量，人體雙腳之間的阻抗，測量人體之間的靜電差，腕帶、接地插頭、工作服等是否阻護有效。還可以作為入門放電，把人體靜電隔在車間之外。

(4)兆歐表：用于測量所有導電型、抗靜電型及靜電泄放型表面的阻抗或電阻。

電子產品制造中防靜電技術指標要求：

(1)防靜電地極接地電阻＜10Ω。

(2)地面或地墊：表面電阻值10⁵-10¹⁰Ω;摩擦電壓＜100V。

(3)墻壁：電阻值5×104-10⁹Ω。

(4)工作臺面或墊：表面電阻值10⁶-10⁹Ω；摩擦電壓＜100V；對地系統電阻10⁶-10⁸Ω。

(5)工作椅面對腳輪電阻10⁶-10⁸Ω。

(6)工作服、帽、手套摩擦電壓＜300V；鞋底摩擦電壓＜100V。

(7)腕帶連接電纜電阻1MΩ；佩帶腕帶時系統電阻1-1OMΩ。腳跟帶(鞋束)系統電阻0．5×10⁵-10⁸Ω。

(8)物流車臺面對車輪系統電阻10⁶-10⁹Ω。

(9)料盒、周轉箱、PCB架等物流傳遞器具一表面電阻值10³-10⁸Ω;摩擦電壓＜100V。

(10)包裝代、盒一摩擦電壓＜100V。

(11)人體綜合電阻10⁶-10⁸Ω。

生產設備必須接地良好，貼裝機應采用三相無線制接地法并獨立接地。生產場所的地面、工作臺面墊、坐椅等均應符合防靜電要求。車間內保持恒溫、恒濕的環境。應配備防靜電料盒、周轉箱、PCB架、物流小車、防靜電包裝帶、防靜電腕帶、防靜電烙鐵及工具等設施。

(1)根據防靜電要求設置防靜電區域，并有明顯的防靜電警示標志。按作業區所使用器件的靜電敏感程度分成1、2、3級，根據不同級別制訂不同的防護措施。

1級靜電敏感程度范圍：0-1999V

2級靜電敏感程度范圍：2000-3999V

3級靜電敏感程度范圍：4000-15999V

16000V以上是非靜電敏感程產品。

(2)靜電可靠區(點)的室溫為23±3℃，相對濕度為45-70％RH。禁止在低于30％的環境內操作SSD(靜電敏感元器件)。

(3)定期測量地面、桌面、周轉箱等表面電阻值。

(4)靜電可靠區(點)的工作臺上禁止放置非生產物品，如餐具、茶具、提包、毛織物、報紙、橡膠手套等。

(5)工作人員進入防靜電區域，需放電。操作人員進行操作時，必須穿工作服和防靜電鞋、襪。每次上崗操作前必須作靜電防護可靠性檢查，合格后才能生產。

(6)操作時要戴防靜電腕帶，每天測量腕帶是否有效。

(7)測試SSD時應從包裝盒、管、盤中取一塊，測一塊，放一塊，不要堆在桌子上。經測試不合格器件應退庫。

(8)加電測試時必須遵循加電和去電順序：低電壓→高電壓→信號電壓的順序進行。去電順序與此相反。同時注意電源極性不可顛倒，電源電壓不得超過額定值。

(9)檢驗人員應熟悉SSD的型號、品種、測試知識，了解靜電保護的基本知識。

靜電敏感元器件運輸、存儲、使用要求：

(1)SSD運輸過程中不得掉落在地，不得任意脫離防靜電屏蔽包裝。

(2)存放SSD的庫房相對濕度：30-40％RH。

(3)SSD存放過程中保持原包裝，若須更換包裝時，要使用具有防靜電性能的容器。

(4)庫房里，在放置SSD器件的位置上應貼有防靜電專用標簽。

(5)發放SSD器件時應用目測的方法，在SSD器件的原包裝內清點數量。

(6)對EPROM進行寫、擦及信息保護操作時，應將寫入器／擦除器充分接地，要帶防靜電手鐲。

(7)裝配、焊接、修板、調試等操作人員都必須嚴格按照靜電防護要求進行操作。

(8)測試、檢驗合格的印制電路板在封裝前應用離子噴槍噴射一次，以消除可能積聚的靜電荷。

防靜電工作區的管理與維護：

(1)制訂完善的防靜電管理制度，并有專人負責。

(2)備用防靜電工作服、鞋、手腕帶等個人防護用品以備外來人員使用。

(3)定期維護、檢查防靜電設施的有效性。

(4)防靜電腕帶每天檢查一次（建議用實時監控手腕帶在線監控儀）。

(5)防靜電桌墊、地墊的接地性、靜電消除器的性能每月檢查一次。

(6)防靜電元器件架、印制板架、周轉箱；運輸車、桌墊、地墊的防靜電性能每六個月檢查次。