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[Clean
ROOM]潔凈室，亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體工業和生物化學、醫藥、食品界等不可或缺之重要設施。近幾年來，由于技術之創（新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路(VLSI，Very
Large Scale Integrated
Circuit)之研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視之項目，我國亦不例外。然積體電路與精密軸承(Bearing)、太空航空儀器、光學機械等之精密機械產業，對于空氣中之浮游粒子、粉塵等之污染極為敏感，且對于產品之品質、可靠性及良率高低有著極大之影響。由于以上之產品必須在良好之潔凈室內進行生產制造，故工業用之潔凈室在各種產業上已被廣泛采用。另一方面在醫學上及醫療技術方面，對于手術室，新生兒室、重癥加護病房(Intensive
Care Unit, ICU)、燒的病房及冠狀動脈加護病房，(Coronary Care
Unit,CCU)等場所所為達成高度醫療效果，亦需有去除空氣中浮游無菌之無菌環境，以維人員生命可靠。其次在制藥工作、食品制造業及醫療儀器制造業、生化及細J培養等為提高產品品質及可靠衛生，以去除空氣中浮游微生物與外界異物之干擾侵犯之無菌潔凈室亦應運而生。針對積體電路（半導體行業）而言，潔凈室重要之作用在于控制產品(如夕晶片等)所接軸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為[潔凈室}。換言之，潔凈室之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細J等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之房間。亦即是不論為在之空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。從另一角度看，潔凈室之立方英尺內之空氣所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰塵粒子不超過1顆；潔凈室10級則為不超過10顆，潔凈室100級，1000級......依此類推。我們可以一簡式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。
由以上之定義，我們可知構成潔凈室須具備以下之各項因素：
1.能除去空氣中漂游之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產生。
3.溫度和濕度之控制。
4.壓力之調節。
5.有害氣體之排除。
6.結構物與隔間之氣密性。
7.靜電之防制。
8.電磁干擾之預防。
9.可靠因素之考慮。
10.節能之考量。
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